Nikon Eclipes LV-150 全方位金相,晶圆检查显微镜
Nikon Eclipes LV-150 全方位金相,晶圆检查显微镜
开发背景：
因应电子半导体，IC-PACKAGE，封装FPD(TFT, STN, LED, OLED)光电业，电子部品，PCB，材料，金相组织等产业。
‧ 专用于金属表面观察与照相
‧ 多种镜筒选择 , 双眼与三眼。并可调整仰角 (8° -32° )
‧ Beamsplitter分光设计,可同时连接照相系统、CCDcamera、TV系统
‧ Nikon 最新 CFI60/ICOS 高解像力光学系统设计
‧ 折迭式镜筒 , 调整瞳孔距离时 , 共焦不变
‧ 采用消色差、消球面差之超低散射高级光学镜片
‧ 高对焦精度 1um 及共焦性
‧ 可选择标准镜筒 ( 视野数 22) 与超广角镜筒 ( 视野数 25)
‧ 可选择全新 CFI60/ICOS 明视野与干涉相位差镜头
‧ 高精度测微器最小读取值 0.1um
‧ 可加装 Nikon 数字相机
‧ 具底部光源机型 LV100D 可供选择
‧ 标准光源为 12V50W 卤素灯源
‧ 具光源及焦聚 Luck 功能
Nikon LV150 6”晶圆检查显微镜规格(晶元) :
LV150本体
最大工作距离达47mm,加装column riser可达82mm
镜筒
LV-TI3 正相三眼分光光学镜筒 (F.O.V. 22/25)
目镜
CFI 10X
x2 (F.N. 22)
镜头载盘
L-NU5
5孔旋转鼻轮(微分干涉明暗视野)
光源系统
12V-50W 高效能卤素光源
X，Y平移载台
LV-S6
6x6 行程：150mmX150mm (With 6”
Waferholder)
镜头
CFI
LU Plan BD 5X , 10X , 20X , 50X , 100X
滤光片
NCB
11 (自然色滤光片)
特殊光学配件
上偏光镜(Analizer)
影像检测系统
C-mount
0.55X Lens
两段粗微同轴调焦,调焦精度达0.001mm
功能：明暗视野光场切换,偏光镜组插槽,视野光圈,景深光圈,滤光片插槽
可调式下偏光镜(Polarizer)
可调式微分干涉光学棱镜 (DIHC)
CMOS Digital Camera (1.3megapixel)
EZ-2007 Image measuring Software
主要特点：
承载台从3吋至6吋(150mmx150mm)不等的承载台可选择，并有模块型显微镜IM-4可安装于大行检查机台上
(特别在TFT-LCD产业) 亦可加高模块可适用于probe测试及加热板用观察。
领域扩大：
明暗视野，简易偏光，专业偏光，微分干涉DIC，并增设荧光观察的功能(无须增购荧光专用。Mercury灯源)
光学设计：
工业用CFI60光学，高n.a.值，长工作距离;共焦距离60mm 特别在LCD CR镜头上有重大改革
在50倍lcd物镜N.A.=0.7 工作距离3.9-3.0mm校正玻璃厚度0-1.2mm。
便利及操作性：
有提供上下摆动目镜筒为正向；防静电设计，快速移动载物台，双分光设计(可同时接两组照像或摄影机ccd)
防静电数据1000～10V、0.2秒以内可另有电动鼻轮设计(LV150A)
环保诉求：
1.2安培/75瓦 采用12V50W灯源，并保留原有100瓦设计并可做荧光观察外接设备：传统模拟式CCD CAMERA，
数字式CCD CAMERA，数字照像机，影像量测软件等
拍摄样本：
IC CHIP(明視野，暗視野，DIC相位差，由左至右)
液晶
COLOR FILTER彩色濾光片
TFT-LCD (COG導電粒子)
适用领域：
因应电子半导体，IC-PACKAGE，封装FPD(TFT, STN, LED, OLED)光电业，电子部品，PCB，材料，
金相组织等产业。
